技術領先　富陽光電導入LPCVD製程

(2008/07/09 17:45)

百萬裝太陽能，一個月4千電費通通省。

記者楊伶雯／台北報導

中環（2323）集團旗下富陽光電9日宣佈，領先導入獨門LPCVD(低壓化學氣相沉積法)製程，不僅量產時效領先同業，同時也取得成本競爭優勢，有助於提升富陽的生產效能與提高競爭力。

中環指出，台灣在發展矽晶太陽能電池時，設備、原料等生產關鍵都被大廠所掌握，但富陽光電卻可掌握薄膜太陽能電池產品的關鍵材料、技術與設備，導入獨門LPCVD(低壓化學氣相沉積法)製程。

中環表示，根據日本調查公司富士經濟調查結果顯示，太陽能電池用透明導電膜玻璃基板(TCO玻璃)2007年的出貨額為前年的兩倍，達到78億日幣。隨著可降低Silicon(矽)使用量，低生產成本的薄膜太陽能電池的產能陸續開出，對太陽能電池用透明導電膜玻璃基板的需求將有激增的趨勢。

富陽光電是少數能自製透明導電膜玻璃基板的廠商之ㄧ，因為除了導電度、透光度和擴散性外，太陽能電池用透明導電膜玻璃基板還須具備捕捉太陽光(light trapping)的能力。

富陽表示，在薄膜太陽能電池製程中導入獨門LPCVD(低壓化學氣相沉積)製程，以一道LPCVD製程即可藉由控制氧化鋅(ZnO) 透明導電薄膜結晶方向進而控制自然形成的奈米尺度絨面(texture)表面形貌並提高光捕捉性及元件效能，因此具有較低生產成本優勢。

富陽說，除具有較低生產成本的優勢外，在TCO玻璃製程上，富陽更使用獨門配方所製備的氧化鋅，擁有較高光穿透率允許長波長光線的入射，進而更有效轉換光能量，這對吸收光線波長範圍寬廣的高效率微非晶(Micromorph)堆疊式(tandem)矽薄膜太陽能電池更加重要。此外，氧化鋅在後續製程中對PECVD(電漿輔助化學氣相沉積)電槳環境的高穩定性，也讓太陽能電池品質及良率更為提升。

富陽強調，由於目前TCO玻璃必須由國外進口，因此自製TCO玻璃具有掌握關鍵零組件，無缺貨疑慮且有成本及產品特性較佳的優勢；可當地採購玻璃無需進口，減少運輸及庫存的成本；TCO玻璃不會有因運輸過程造成變質的風險等等優勢。

富陽說，更重要的是在太陽電池產業最關鍵的效率提升競賽中，具備元件設計優化技術能力，因具備LPCVD調整 TCO製造的自主性及彈性，在日後產品轉換效率的提升將更具競爭優勢。