全球極紫外光光罩盒(EUV Pod)最大供應商、晶圓傳載解決方案廠家登遭美國英特格公司控訴侵犯專利。為此,家登今(1)日表示尚未收到起訴狀,無法具體表示意見,但強調公司一向尊重智慧財產權,任何產品之研發過程均經過審慎評估與嚴謹的專利檢索,堅信並無侵害他人專利之情事。
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美國英特格 (Entegris. Inc.)今日發布新聞稿稱,家登未經授權實施英特格中華民國發明第I606534號及I515159號專利權行為,向台灣智慧財產及商業法院智慧財產法庭提起專利侵權訴訟。英特格表示,本專利侵權爭議涉及家登製造與銷售的特定晶圓傳送盒(FOUP),該產品實施英特格具擴散器的前開式晶圓傳送盒技術。
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為此,家登表示公司尚未收到起訴狀,無法具體表示意見,公司將委請專業專利律師團隊積極協助處理,捍衛家登精密及股東權益。家登強調公司一向尊重智慧財產權,任何產品之研發過程均經過審慎評估與嚴謹的專利檢索,堅信並無侵害他人專利之情事。目前尚未收到智慧財產法院正式來文,靜待法院來文後評估後續因應措施。
家登是全球極紫外光光罩盒最大供應商,台積電、英特爾與三星都是客戶,而英特格深耕台灣,同樣是台積電、三星、聯電和美光等大廠的關鍵化學品供應廠商,今年5月中在高雄啟用全球最大的生產基地,其產品包含特用化學、光阻材料和極紫外光曝光機的光罩盒,與家登被稱為是全球唯二光罩盒供應商。