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宏廣新技自111年獲得日本工業氣體製造大廠愛沃特株式會社(AWI),以及百年企業三井物產株式會社(MBK)兩家日商企業入股後,不僅握有全球稀缺的原物料資源,藉由宏廣在特殊氣體的高端製造技術,並投資在南科工的新廠擴建,第一期廠區2,400坪,將生產半導體級超純度二氧化碳CO2每月達1,200噸及一氧化二氮N2O每月達140噸,接著第二期2,600坪廠房,也將在年底啟用,作為特用氣體倉儲使用,以及製造氟碳類氣體產品,預計到2026年宏廣將成為台灣主要半導體特殊氣體製造廠之一,提供特殊氣體種類將超過8-9種以上,完善半導體特用氣體供應鏈及高純化技術,在地化短鏈供應。
宏廣新技董事長林菊梅指出,在全球聚焦在碳捕捉CCUS的議題下,宏廣具備最先進的CO2捕捉與純化技術,將石化鋼鐵工業產出的工業級CO2副產物,純化為半導體廠所需求的超高純CO2,超高純度的二氧化碳在EUV製程裡作為一個激光發射器的很重要介質,因此氣體的純度會影響到整個製程的良率,目前超高純6N的CO2用在EUV極紫外光的曝光機,宏廣台南廠已可生產8N超高純度的CO2,用在7奈米製程,甚至是5奈米以下,高端製程愈精進發展,對CO2的純淨度的要求只會更為嚴苛。
台南市經發局局長表示,本次宏廣新技選擇投資超過4億元於台南科技工業區興建廠房,用地面積2,344平方公尺、樓地板面積2,974平方公尺。公司擁有專業半導體氣體的高純製造及分析技術,結合日商新團隊的技術能力,對應最先進的高純度氣體達7N以上的品質要求,以及嚴格的品質管理與分析能力,能迅速釐清並解決客戶問題。