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化學材料業增購315億元，年增23.3%，主要是由於受惠5G、AI、車用電子等應用需求，激勵矽晶圓業者持續推動產能擴充，以及部分業者因應擴大布局半導體製程及醫材所需的化學材料等業務而擴廠，加上部分石化廠配合都市發展計畫遷移石化儲槽工程。
電腦電子產品及光學製品業也同樣受惠人工智慧及雲端資訊服務需求成長，Q3增購153億元，年增18.0%；金屬製品業因部分業者新廠建置及產線擴增計畫進入後期，資本支出相對減緩，Q3增購134億元，年減23.0%；基本金屬業則因部分鋼鐵廠持續投入環保改善工程及製程優化升級，加上部分業者積極布局高值化產品，持續增購及擴建廠房，Q3增購127億元，年增14.0%。
石油及煤製品業增購126億元，年減2.7%；機械設備業因業者因應景氣趨緩，減緩投資進程，Q3增購年減25.2%，約92億元。
經濟部表示，隨著半導體廠商投資先進製程、離岸風電建設持續推進、企業投入淨零轉型，以及台商回流投資賡續落實，均可望支撐我國製造業投資動能，但受全球經濟前景不確定性仍高影響，企業資本支出趨向審慎。
