台塑集團旗下台塑、台塑化、台化、台塑生醫,攜手中華化共同投資設立合資公司「台塑中華先進化學股份有限公司」,搶攻半導體電子級硫酸事業,資本額共60億元。
為拓展電子級硫酸事業,中華化整合與台塑雙方資源,共同投資設立合資公司,投資金額上限30億元、持股50%。今日各家發重訊公告,台塑出資12億元、持股20%,台化、台塑化及台塑生醫則各出資6億元、分別持股10%。台塑一期產能預計明年12月投產,二期預計2029年12月投產。
電子級硫酸為半導體製程用量最大的濕式電子化學品之一,廣泛應用於晶圓清洗、光阻剝離、蝕刻後清洗、離子植入後清洗及化學機械研磨後清洗等關鍵製程,因應半導體先進製程持續微縮與極紫外光(EUV)、多重圖形化等技術發展,電子級硫酸需求將持續成長,預估117年國內先進製程電子級硫酸需求量將明顯大於供應產能。
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電子級硫酸為半導體製程用量最大的濕式電子化學品之一,廣泛應用於晶圓清洗、光阻剝離、蝕刻後清洗、離子植入後清洗及化學機械研磨後清洗等關鍵製程,因應半導體先進製程持續微縮與極紫外光(EUV)、多重圖形化等技術發展,電子級硫酸需求將持續成長,預估117年國內先進製程電子級硫酸需求量將明顯大於供應產能。